Intel 32nm工艺专题:70亿美元铸就新辉煌
  • 上方文Q
  • 2009年02月12日 01:29
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下一步的32nm工艺会把High-K介质和金属栅极技术发展到第二代,还有第四代应变硅技术,可将晶体管体积缩小大约30%,栅极厚度也再次薄到0.9nm,特别是Intel还会在关键层上首次使用沉浸式光刻技术,类似AMD在当前45nm工艺上的应用。

Intel还声称,从45nm到32nm可带来超过22%的性能提升。

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这22%的指标是哪儿来的?根据NMOS、PMOS晶体管泄漏电流和驱动电流的对比,32nm的能效相比45nm会有明显提高,要么能在同样的漏电率下提高晶体管速度(14-22%),要么能在同样的速度下降低漏电率(5-10倍)。

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每次投产新工艺之前,半导体厂商都会在使用SRAM进行测试,而Intel的第一颗32nm SRAM芯片在2007年9月就已经完成,晶体管数量超过19亿个,单元面积0.171平方微米,容量291Mb,运行速度4GHz。

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每一轮工艺升级,SRAM芯片的面积都会减小一半,比如在45nm时代是0.346平方微米(AMD的是0.370平方微米)。

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我们之所以今天就能领略到Intel 32nm工艺的风情,一个关键原因就是其成熟度已经相当高。下边这张缺陷密度图就显示了90/65/45/32nm工艺单位面积硅晶圆上缺陷数量随时间的变化趋势,也只有曲线降低到一定程度之后才可以批量投产。看看32nm的曲线就很明显了。

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