据报道，台积电将投资60亿美元用于12寸晶圆厂Fab 12第五阶段、Fab 14晶圆厂第四阶段的增产计划。其中，台积电计划在明年十月份在位于新竹科学工业园的Fab 12安装新设备，而位于台湾南部的Fab 14晶圆厂设备安装将在年底完成。
Fab 12、14晶圆厂目前主要采用45nm及以上制程工艺，增产后的月产能将从目前的35000片增加到70000片。其实台积电先前就有增加12寸晶圆厂产能的计划，但是由于受到全球金融危机的影响，扩产进程被迫推迟。
根据台积电最近发布的财季报告，按8寸晶圆来计算的话，台积电预计本年度的晶圆产量将达到993.7万片，12寸晶圆厂的产能将提高10%。台积电去年的总产量达到937.7万片，同比增长13%，12寸晶圆厂的产量提高27%。
台积电近期向台湾证交所提交的报表中指出，他们在10月6日到27号之间的时间里先后7次购买了总计价格为62.9亿新台币的机器设备，台积电第三季度在机器购买上的总花费为540亿新台币。
