19亿元，这是如今全球最贵电子设备的价格，它就是全球最大的光刻机供应商ASML先手的NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的价格，而购买者则是大名鼎鼎的英特尔。
在当前NA 0.33的EUV光刻机中，英特尔动作慢了，被台积电、三星抢先，因此，在下一代NA 0.55的EUV光刻工艺中，英特尔不允许同样的错误再次发生，这一次要抢先三星台积电下单，也会抢先量产20A及18A工艺，首次进入埃米级工艺节点。
基于此，4年来英特尔实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机，其中分为两种，Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发，产能输出是185WPH，每小时生产185片晶圆，2023年上半年交付。
量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200，产能提升到200WPH，每小时200片晶圆，预计会在2024年下线。
文章出处：中关村在线
