2023年11月5日-10日，第六届中国国际进口博览会（以下简称“进博会”）将在上海全面线下举办。
光刻设备领先供应商阿斯麦（ASML）今年也将第五次参加进博会，公司将以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相国家会展中心技术装备展区集成电路专区，并首次以互动视频的形式带领观众深度了解ASML包括光刻机台、计算光刻以及光学和电子束量测在内的全景光刻解决方案如何相互协作、支持客户。
在正式参会前夕，ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波就本届参展计划、在华业务发展情况及未来规划等热点话题和外界展开交流。
△ASML全球副总裁、中国区总裁沈波
“今年，我们深圳和武汉的研发团队开发并发布了一款贴合中国客户需求的新版本计算光刻产品，能够实现行业领先的良率。在此背景下，我们也希望通过进博会这样的平台持续让外界对ASML有更客观、全面的认识，ASML始终积极响应中国集成电路行业的发展需求，为客户提供全景光刻解决方案，这其中不仅包括大家熟知的光刻机台，还有计算光刻、以及光学和电子束量测，从而帮助客户经济高效地提升良品率和生产效率。”沈波近日向媒体介绍。
ASML持续扩大在中国的研发投入
自1988年向中国交付了首台步进式光刻机之后，ASML公司已经在中国市场深耕30余年，参与支持了中国半导体行业的发展，提供全包括光刻机台、计算光刻、以及光学和电子束量测的全景光刻解决方案，从而帮助客户提高效率并降低成本。
目前，ASML在中国设有16个办事处、12个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。ASML在中国大陆的员工总人数已经超过1600人。
据了解，2004年，ASML在深圳建立首个计算光刻开发中心。经过近20年的人才积累，该中心已成为ASML在全亚洲最大的专业软件开发中心。目前，ASML在国内有深圳和武汉两个计算光刻开发中心。
“计算光刻主要应用于芯片的开发与制造环节，实际是通过大量的数学和物理模型的建立来帮助客户在芯片开发和制造时设计出一个模板——用专业的词来说叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻机是把这个光罩上面客户设计的图案投影到晶圆上面，然后晶圆通过光刻胶的显影后续的工序把它呈现出来。”沈波给出相关定义时说。
ASML“铁三角”全景光刻解决方案中的另一环是量测，其是曝光后晶圆成像检查和反馈的环节，帮助进一步优化模型。量测分还为光学和电子束两种，其中，ASML电子束量测在北京设有开发中心，是ASML电子束量测的全球四大开发中心之一，专门从事电子束系统关键组件的开发。
“ASML的服务不光是对故障维修和让设备正常运转，很重要的一个附加值在于ASML团队能够配合客户的工艺做调整、优化，帮助客户实现其工艺要求，从而使客户能够在制造芯片过程中获得更好的良率和生产效率，更顺畅地把工艺窗口做好；这是我们围绕‘成像环节’做的一些事情，其中需要的不仅仅是光刻机，我们的计算光刻软件和量测系统一起构成了紧密协作的三角形。”沈波在交流会上谈到。
ASML在中国的机台装机量接近1400台
根据ASML的财报显示，截止9月30日的前三季度，ASML全球净销售额达203.21亿欧元，而中国区同期收入约合52.67亿欧元，占比25.91%左右。
其中，ASML三季度来自中国大陆的销售收入占比由二季度的24%（销售额约为13.45亿欧元），几乎翻倍增长到了46%（销售额约为24.42亿欧元），要知道今年一季度中国大陆的销售收入占比仅8%。
这也进一步凸显了中国大陆市场对于ASML光刻系统旺盛的需求，以及ASML对中国大陆市场交付的快速增长。
对于中国大陆市场增长情况，沈波解释称，过去两年，受产能制约等因素影响，ASML对全球客户交付率基本维持50%左右。今年中国大陆市场交付相对较多，主要因为一些产能越大的全球客户对行业波动会越敏感，当行业景气度下滑时，这些客户会选择放缓产能建设和设备采购进度。
而中国大陆的客户目前仍处于产能建设阶段，有些客户甚至刚起步，尤其在成熟制程这块需求非常旺盛，所以对行业波动相对不那么敏感。
“即便面对行业波动，中国大陆客户对我们的需求仍是将前两年订的货尽快交付，而其他客户的需求时间节点发生了变化。所以，最后大家看到的结果是中国大陆市场所占的份额相对出现上升。”沈波说道。
沈波还特别指出，“现在网上有各种各样的关于我们的消息，说我们不卖机器到中国，这种很吸引眼球的传闻。然而，实际上我们从1988年首台机器运到中国，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。所以，实际上我们这些年在中国的成长幅度还是非常可观的。我们一直在不停地投入做这件事情。”
光刻设备供不应求，ASML正努力提升供应能力
作为全球半导体设备行业的创新领导者，1984年成立的ASML公司，提供涵盖硬件、软件和服务在内的全景光刻解决方案，帮助芯片制造商在硅晶圆上批量“刻”制图形。目前，ASML是全球最大的光刻机制造商，通也是全球唯一的极紫外光（EUV）的光刻机制造商。
“我们的光刻机每小时能处理多达300余片晶圆，每一片晶圆可能在光刻机中曝光时间只有十几秒。这十几秒，机器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圆上，根据产品种类和设计的差异需要产生100束光左右，每一束光都会有区别，并且在实时调整。这个过程非常复杂、非常精细。”
沈波表示，光刻环节，处于上千道工序里面最核心的位置。量产芯片厂，产品良率基本上在90%以上。这一千多道工序，每一道工序的误差、偏差都需要控制得非常精确。任何一道工序有问题，芯片最后出来就可能不是一个合格的产品，这对芯片厂而言是巨大的成本。
根据ASML于今年10月18日公布的最新财报显示，截止9月30日的前三季度，ASML全球净销售额达203.21亿欧元，而中国区同期收入约合52.67亿欧元，占比25.91%左右。ASML预计，2023年第四季度的净销售额在67亿-71亿欧元之间，毛利率在50%-51%之间。
对于ASML来说，截止今年三季度，公司仍有超过350亿欧元的未交付订单。如何突破产能瓶颈以应对市场需求增长仍是ASML需要解决的问题。
“总体来讲，到目前为止，我们还属于有一点产能不足的状态。对市场的需求来说。尽管现在全球行业整体处在周期谷底，但ASML目前在手还没执行的订单有350亿欧元。总体上（光刻设备）还是供不应求。”沈波表示，2023年ASML公司销售额相比2022年（212亿欧元）将增长30%，预计达270亿欧元以上。
展望行业趋势，沈波认为，当前存储芯片库存在进一步降低，同时价格出现些许回升；逻辑芯片厂设备的使用率慢慢地往回升，行业整体正触底回升，明后年则有望企稳；行业存在周期起伏，但长期上升态势未变。
“预计到2025年，行业回暖将使现有产能开满并需要新产能，同时，全球各地，包括在中国、美国、欧洲、日韩等会有新的芯片厂在2025年投入运行，两个因素叠加，届时会带来一波半导体设备的需求。”沈波指出。
对此ASML此前也已经公布了长期的产能规划，目标是在2030年代中期做到全球每年交付600台DUV机器。
沈波解释称：“过去很多年，我们每年是全球交付200台机器左右，到今年应能提升到300多台的产能，但缺口仍比较大。近年来，我们积极和供应商沟通，以期在配合和协作下，确保顺利地响应、满足2025年的产能爬升。如果各方面都配合得符合预期，我们会在2025年底或者2026年初具备500到600台DUV之间的全球年供应产能。”
中国大陆业务明年或受10-15%影响
今年以来，随着相关国家半导体出口管制政策接连出台，业内对地缘政治的影响更为担忧。
今年9月，荷兰最新芯片出口管制措施生效。根据ASML此前回应，自2024年1月1日起，ASML将基本不会获得向中国客户发运TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证。而在此之前，ASML的EUV光刻系统已受到出口限制。
今年10月17日，美国商务部工业与安全局（BIS）也发布多项规则，更新并扩大了2022年10月7日发布的对先进半导体及其制造设备实施的一系列严格的出口管制措施等。
ASML回应称，“根据目前收到的信息，我们认为适用该新规的涉及先进芯片制造的中国晶圆厂数量有限……ASML将向美国政府进一步澄清这些新规的适用范围。ASML持续致力于遵守经营所在国家/地区所有适用的法律和法规，包括出口管制法规。”
在三季度财报会议上，ASML CEO Peter Wennink进一步解释称，“1980Di原则上将受出口管制限制，但仅当用于先进半导体制造时，仅适用于少数应用。这意味着1980Di仅对少数晶圆厂禁止出口，但可向绝大多数应用于次关键和成熟制程的中国大陆客户直接出口，无需许可。”
那么，美国的新规对于ASML中国业务具体会有多大影响呢？
沈波坦言，“现在对于新的出口管制政策，我们还在研究中。总体来看，如果以今年我们在中国的业务为基础，明年的业务大概会受到10%-15%的影响。中国明年的市场需求还是蛮旺盛的。短期内我们感觉应该对总体业务量不会有太大影响。从公司角度，到2030年，行业整体趋势一直起伏性增长，所以对公司销售的总体趋势不会有太大的改变。”
“我们只有部分浸润式产品明年会被放到出口管制的范围，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我们还有非常大的一块浸润式的业务在中国。”沈波补充称。
在沈波看来，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在该领域最好的公司和人才，才能保证把事情做好；在历史发展进程中，半导体也一直是需要全球高度合作的产业，但近年来不光是ASML，整个行业发展都受到了很多地缘政治方面的影响。
如何去应对这种变化？沈波表示，“对ASML而言，只要在合法合规的框架下，我们一定会尽最大的努力去支持所有的客户。”
“在我们看来，先进制程芯片从数量上讲是相对较小的，绝大多数是成熟制程芯片。我觉得，对于中国来讲，这么大终端市场需求推动下，把成熟制程芯片做到非常具有竞争力的水平，对半导体行业来讲是最高效的，可以达到一个事半功倍的效果，有助于提高投入产出比。”沈波说道。
